А.В. Гридчин. Микродатчики и микросистемы

Представлены конструкции и принципы работы основных типов микродатчиков и микросистем, разработанных и применяемых в настоящее время. Даны определения основным терминам, используемым в микросистемной технике. Приведен перечень метрологических параметров, характеризующих микросистему как измерительный прибор. Отдельным вопросом рассмотрено компьютерное моделирование и проектирование микросистем на основе программного пакета Ansys.

Издательство: Инфра-Инженерия
Год: 2023
Формат: pdf
Страниц: 184
Язык: русский

 

Скачать книгу (31,2 МБ):